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AIR FLOATING STAGE

세계 최고의 기술 Solution으로 산업발전에 기여하는 케이앤아이 주식회사

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정밀 Stage

정밀 Stage 개요

• 초정밀 Non-contact 기판 핸들링 솔루션

• 특징 : 30μm부상 유지하며, ≥10um  Air Gap 유지
• 적용 분야 : Coating .Inspection .Laser 등 정밀도가 높은 공정에 적합.

• SIZE : Customizing         

정밀 Stage 부상량 측정 동영상
정밀 Stage 적용 사례
COATING 공정
COATING 공정
LASER 공정
LASER 공정
검사기 공정
검사기 공정
INKJET 공정
INKJET 공정

Non-contact Stage

Non-contact Stage 개요

• Non-contact 기판 핸들링 솔루션

• 특징 : 안정적인 부상 높이(200μm 이상) 유지

• 적용 분야 : Coating .Inspection .Laser 등 물류 반송에 적합.

• SIZE : Customizing

CELL 이송 동영상
Non-contact Stage 적용 사례
공정 설비의 Loading / Unloading plate 적용
공정 설비의 Loading / Unloading plate 적용
단순 물류 및 CELL 물류
단순 물류 및 CELL 물류

물류 반송 Stage

물류 반송 Stage

• Non-contact 기판 핸들링 솔루션

• 특징 : 기판 대비 작은 면적으로 안정적인 부상 높이 유지
• 적용 분야 : Coating .Inspection .Laser . Conveyor 등 물류 반송에 적합.

• SIZE : Customizing

물류 동영상
동영상 재생
Non-contact Stage 적용 사례

Loading /Unloading 및 Conveyor 형태의 물류 반송에 적용

Other


Vaccum Plate


PLP
End Effector

•평탄도와 평행도를 보장하면서 안전하게 흡착하도록 설계.

•반도체 및 디스플레이 여러 공정에 적용 가능.

•고도로 휘어진 기판을 그립핑하고 평탄화가 가능.

•AOI, 계측, 결함 검사 및 기타 공정등에 적용 가능.

•웨이퍼를 카세트 또는 공정 챔버 안팎으로 운반하는데 사용.

K&I Corp.

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Solution
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케이앤아이 주식회사

대표자. 황희진
Tel. 041-585-1369 | Fax. 041-585-1320 |kni@knicorp.co.kr


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